了解直線(xiàn)電機在防偽技術(shù)的應用
隨著(zhù)社會(huì )的發(fā)展,有越來(lái)越多的假冒偽劣產(chǎn)品。精密光刻系統主要用于假冒偽劣產(chǎn)品的防偽加工。這對光刻技術(shù)的定位精度提出了極高的要求,直線(xiàn)電機的應用在那些方面呢?
傳統的電機加一套變換結構和線(xiàn)性運動(dòng)驅動(dòng)裝置的組成已經(jīng)不能滿(mǎn)足現代控制系統的要求。另一方面,由于直線(xiàn)電機驅動(dòng)的位移結構具有普通驅動(dòng)結構無(wú)法比擬的快速響應能力和精度的優(yōu)點(diǎn),直線(xiàn)電機驅動(dòng)的精密光刻系統得到了廣泛的應用。
直線(xiàn)電機相對于傳統電機有以下優(yōu)點(diǎn):首先,由于直線(xiàn)電機不需要改變附加設備的旋轉運動(dòng),因此系統結構大大簡(jiǎn)化,重量和體積大大減少;其次,定位精度高,在需要線(xiàn)性運動(dòng)時(shí),直線(xiàn)電機可以完成直接傳播,因此可以消除由于定位中間環(huán)節引起的各種誤差,定位精度高,如采用微機控制,可進(jìn)一步提高整個(gè)系統的定位精度;第三,反應速度快,靈敏度高,隨動(dòng)性能好。直線(xiàn)電機易受磁懸浮支撐,使動(dòng)子與定子之間始終存在一定的氣隙,消除了動(dòng)子與定子之間的接觸摩擦阻力,進(jìn)一步提高了系統的靈敏度、快速性和隨動(dòng)性。四、運行安全可靠,使用期限長(cháng)。直線(xiàn)電機可完成無(wú)接觸傳動(dòng)力,機械摩擦損耗幾乎為零,因而故障少,免維護,因而運行安全可靠,使用期限長(cháng)。
直線(xiàn)電機使用的光柵尺分辨率可達0.1m,不僅提高了光刻速度,同時(shí)進(jìn)一步提高了光刻精度。直線(xiàn)電機由于其結構簡(jiǎn)單、反應速度快、靈敏度高、跟蹤好、密封好、不怕污染、適應性強、運行穩定可靠、使用期限長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)中。
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