考慮到直線(xiàn)電機模組是是自動(dòng)化機械設備，所以在實(shí)際使用中一定要嚴格要求，把控好準確度的具體變化，并做好必要性的直線(xiàn)電機模組準確度測量。

　　運行平行度：在裝置直線(xiàn)模組的平臺上安防標準尺，用實(shí)驗指示器在內滑動(dòng)，可以移動(dòng)的區域內做好測試，移動(dòng)區域內數值的大的差便是測量值。

　　定位精度：以直線(xiàn)電機模式的行程為基準長(cháng)度，用從基準位置開(kāi)端實(shí)際的移動(dòng)的間隔與指令值相互間的最大誤差的絕對值來(lái)表示。

　　相同定位精度：對任何一點(diǎn)在一樣的方向做好7次相同定位，再測出當中值位置，算出表頭數值最大的差值的二分之一。當做測試的規則，在移動(dòng)間隔的中心及大體上兩側的位置分別做好測試，將測試數值中的最大值當做測量值，用帶有±的最大的差的二分之一表示。

　　游隙：對內滑塊給予進(jìn)給，以滑塊剛剛開(kāi)端移動(dòng)時(shí)，實(shí)驗指示器的數值為基準，這種模式開(kāi)端，不依賴(lài)于進(jìn)給裝置，在內滑塊移動(dòng)的方向一樣的方向上（工作臺的進(jìn)給的方向）施加負荷，過(guò)后把測試開(kāi)端時(shí)的基準值與回去時(shí)位置相互間的差值，當做測量值。測試在運動(dòng)大部分的中心及大體上兩側的位置分別做好，把所取得的數值中的最大值當做測量值。