直線(xiàn)電機技術(shù)已廣泛應用于半導體行業(yè)所需要的最先進(jìn)的運動(dòng)系統中。如果精度水平需要達到亞微米水平，位置穩定性需要納米水平，必須采用最先進(jìn)的技術(shù)。對于這樣的要求，任何部件的缺陷都會(huì )影響整機的性能。正因為如此，它為用戶(hù)提供了一個(gè)完整的運動(dòng)系統平臺，擁有最高質(zhì)量的部件和最好的機械結構設計技術(shù)。在晶圓測試工具中，要求極高的精度和生產(chǎn)率。

　　為了滿(mǎn)足高標準的應用要求，LSM直線(xiàn)電機及其獨特的功能滿(mǎn)足了這個(gè)高科技行業(yè)的要求。最終，這些重要的部件組成了一個(gè)機械系統，實(shí)現了最高的性能。

　　貼片機

　　大多數微電子器件都要求進(jìn)行無(wú)損檢測（NDT）。該測試用于確保產(chǎn)品的功能和可靠性。由于在線(xiàn)檢測，速度必須快，精度必須高，以確保生產(chǎn)線(xiàn)的生產(chǎn)能力不受質(zhì)量控制程序的影響。

　　根據被測產(chǎn)品的類(lèi)型，從無(wú)源器件到復雜的IC,都需要不同的檢測技術(shù)，如光學(xué)檢測、x射線(xiàn)檢測或超聲波檢測。由直線(xiàn)電機技術(shù)組成的完整運動(dòng)系統，為用戶(hù)帶來(lái)高精度和最大生產(chǎn)率。

　　在測試設備中，為了達到最大的性能，通常兩個(gè)重要的系統必須保持同步，移動(dòng)平臺和測試系統本身。由于HANS能夠提供一個(gè)完整的運動(dòng)平臺系統和運動(dòng)控制單元，保證了檢測設備的關(guān)鍵運動(dòng)技術(shù)要求。這使得設備制造商能夠專(zhuān)注于他們在檢測系統、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力，同時(shí)要求晶圓運動(dòng)系統的精度、重復性和生產(chǎn)力。